服务五大行业：集成电流，太阳能光伏，LED，分立器件，半导体材料加工。形成五大系列设备：DFQ系列（腔式单晶圆湿法处理设备）SFQ系列（槽式多晶圆湿法处理设备）CXS系列（卧式旋转冲洗甩干设备）LXS系列（立式旋转冲洗甩干设备）TFQ系列（特种器件湿法处理设备）
服务五大行业：集成电流，太阳能光伏，LED，分立器件，半导体材料加工。形成五大系列设备：DFQ系列（腔式单晶圆湿法处理设备）SFQ系列（槽式多晶圆湿法处理设备）CXS系列（卧式旋转冲洗甩干设备）LXS系列（立式旋转冲洗甩干设备）TFQ系列（特种器件湿法处理设备）