嘉兴晶控电子有限公司

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金是广泛使用的传统材料,它具有低接触电阻,高化学温定性,易于沉积

。金适合于低应力材料,如金,银,铜的膜厚控制。用镀金晶振片监控以上产

品,即使频率飘移1MHz,也没有负作用。然而,金电极不易弯曲,会将应力从膜

层转移到石英基片上。转移的压力会使晶振片跳频和严重影响质量和稳定性。

镀低应力膜料时,选择镀金晶振片 常见的镀膜是镀Al、Au、Ag、Cu,这

些膜层几乎没有应力,在室温下镀膜即可。膜层较软,易划伤,但不会裂开或对

基底产生负作用。建议使用镀金晶振片用于上述镀膜,经验证明,可以在镀金晶

振片镀60000埃金和50000埃银的厚度。

银铝合金晶振片近推出一种新型电极材料,适合高应力膜料的镀膜监控,

如Si0,Si02, MgF2,Ti02。这些高应力膜层,由于高张力或堆积的引力,经常

会使晶振片有不稳定,高应力会使基片变形而导致跳频。 银铝合金通过塑变或

流变分散应力,在张力或应力使基体变形前,银铝电极已经释放了这些应力。这

使银铝合金晶振片具有更长时间,更稳定的振动。实验室的实验表明镀Si02用

银铝合金晶振片比镀金寿命长400%。

使用银铝合金晶振片镀介质光学膜 MgF2、SiO2、Al2O3、TiO2膜料由于良好

的光学透明区域或折射率特性,被广泛用于光学镀膜,但这些膜料也是难监控

的,只有基底温度大于200度时,这些膜层才会与基底有非常良好的结合力,所

以当这些膜料镀在水冷的基底晶振片上,在膜层凝结过程会产生巨大的应力,容

易使晶振片在1000埃以内就回失效。 这时候,选用合金晶振片将是的选择

,将大大减少调频机会。实验室显示,使用合金晶振片监视氟化镁,有效寿命比

镀金的长。如果把冷却水的温度从20度提高到50 度,晶振片的寿命更可以

再延长一倍

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