载板电镀的工艺流程包括:清洁、脱脂、进料、化学处理、水洗、电解沉积、除胶、终检等环节。其中,化学处理是整个工艺流程中重要的环节,其影响电镀效果的因素包括电压、电流、电解质浓度、流速等。
载板电镀是先进封装载板(如 IC 载板、扇出型封装载板等)制造中的核心工艺,其质量直接决定载板的电气性能、可靠性及封装良率。由于载板需实现高密度互连(HDI)、超细线路 / 焊盘(线宽 / 线距常<20μm)及承载芯片的高可靠性要求,其电镀工艺及质量检测标准远高于传统 PCB,核心围绕 “镀层均匀性、致密度、附着力、纯度” 四大维度展开
电气性能:保障信号传输与电流承载
载板需满足高频、大电流封装场景,电气性能是核心指标。
镀层电阻:
标准:铜镀层电阻率≤1.72×10⁻⁸Ω・m(接近纯铜理论值,杂质会导致电阻升高);
检测工具:四探针电阻测试仪。
电迁移抗性:
标准:在 1×10⁵A/cm² 电流密度、125℃环境下,铜镀层电迁移失效时间≥1000h(避免长期使用中因金属迁移导致短路);
检测方法:JEDEC JESD22-A108 电迁移测试标准。
载板电镀与传统 PCB 电镀的核心差异
载板电镀的标准严苛性远高于传统 PCB,核心差异体现在:
对比维度 传统 PCB 电镀 载板电镀
线宽 / 焊盘尺寸 通常≥50μm 常<20μm(超细线路)
镀层厚度偏差 ≤±15% ≤±10%(部分场景≤±8%)
附着力要求 ≥0.5N/mm(铜镀层) ≥0.8N/mm(铜镀层)
杂质含量 总杂质≤100ppm 总杂质≤50ppm(高纯度)
可靠性测试时长 湿热试验 500h 湿热试验 1000h