注意事项
1.化学处理液的浓度和电流要控制在合理的范围内,否则会使电镀层厚度和均匀度出现不合格情况。
2.金属载板的质量和表面处理决定了电镀层质量的好坏。
3.电镀过程容易产生热量,需要及时流动冷却水,并注意防止电解质溅出。
4.电极需要保持干净,以确保电流正常稳定。
镀层几何参数:控制是基础
载板的超细线路 / 凸点对几何尺寸要求,偏差会直接导致封装失效(如键合不良、短路)。
检测项目 核心标准要求 检测工具
镀层厚度 - 图形铜:厚度偏差≤±10%(如设计 10μm,实际需在 9-11μm);
- 镍层:2-5μm,偏差≤±0.5μm;
- 金层:0.05-0.15μm(ENEPIG),偏差≤±20% X 射线荧光测厚仪(XRF)、金相显微镜
凸点尺寸(Bump) - 直径偏差≤±5%(如设计 50μm,实际 47.5-52.5μm);
- 高度偏差≤±8%;
- 同一载板凸点高度差≤5μm 激光共聚焦显微镜、3D 轮廓仪
线路 / 焊盘精度 - 线宽偏差≤±10%(如设计 15μm,实际 13.5-16.5μm);
- 焊盘直径偏差≤±5%;
- 线路边缘粗糙度(Ra)≤1μm
耐环境可靠性:应对封装后长期使用场景
载板需承受高温、湿度、腐蚀等环境,镀层耐环境性决定产品寿命。
耐湿热试验:
条件:85℃、85% RH、1000h;
标准:试验后镀层无氧化、鼓泡、脱落,电气电阻变化率≤10%(IPC-J-STD-020)。
耐盐雾试验:
条件:5% NaCl 溶液、35℃、96h(针对表面处理镀层如 ENEPIG);
标准:镀层无锈蚀、变色,焊盘可焊性衰减≤15%(IPC-TM-650 2.6.11)。
焊锡耐热性:
条件:260℃焊锡浴中浸泡 10s(模拟回流焊);
标准:镀层无剥离、起泡,焊盘与焊锡结合率≥95%(IPC-A-600H)。
载板电镀检测需严格遵循标准,确保一致性和可靠性,常用标准包括:
IPC 标准:
IPC-6012DS:《刚性印制板的鉴定与性能规范(载板专用补充版)》,明确载板镀层厚度、附着力要求;
IPC-TM-650:《印制板测试方法手册》,包含镀层厚度、附着力、孔隙率等测试方法。
JEDEC 标准:
JEDEC JESD22-A108:《集成电路封装的电迁移测试》;
JEDEC JESD22-B103:《高温存储测试》,用于评估镀层长期耐热性。
企业定制标准:
主流封装厂(如台积电、长电科技)会在上述标准基础上提出更严格要求(如凸点高度偏差≤±5%),需根据具体订单调整检测阈值。