222 nm 窄带滤光片(BP222)是远紫外 KrCl 准分子灯系统的“安全闸门”——只放行 222 nm ± 2 nm 的远紫外光,把 230-400 nm 对皮肤和眼睛有害的杂波全部压到 OD4-OD6 以下,从而在人机共存场景下实现、安全、实时消杀。
一、工作原理
KrCl 准分子灯在介质阻挡放电时,主峰 222 nm 外还会伴生 230-265 nm 及更长波段的杂散光。滤光片采用高真空离子束溅射(IBS)在熔融石英或 CaF₂ 基底上沉积 40-60 层 HfO₂/SiO₂ 纳米硬膜,通过多腔干涉实现:
• 中心波长 CWL = 222 nm ± 2 nm
• 半高宽 FWHM = 8-12 nm(可根据灯源实际半宽 1.7 nm 进一步收窄)
• 峰值透过 Tp > 78 %(实测可达 85 %)
• 截止范围 230-400 nm,平均透过 < 1 %(OD4-OD6)
二、关键性能
• 面形:λ/10 @ 632.8 nm,保证灯-滤光片模组近场出光均匀性
• 损伤阈值:> 2 J/cm² @ 222 nm,脉冲 10 ns,可承受准分子灯瞬时高功率
• 寿命:经 2000 h 连续 222 nm 照射后,中心波长漂移 ≤ 1 nm,透过率衰减 ≤ 3 %
• 环境:-40 °C ~ +85 °C 循环 100 h 无脱膜;96 h 盐雾测试合格