不锈钢电子毛细管是一种精密微型管材,因其耐腐蚀、高精度、导电性及密封性等特性,广泛应用于电子、半导体设备等高技术领域。
核心应用领域
半导体制造
气体/液体传输:用于光刻机、蚀刻机中输送高纯度气体(如氩气、氮气)或化学试剂(如显影液、蚀刻液)。
真空系统:作为真空腔体与泵之间的连接管,需耐腐蚀且无颗粒释放。
电子元器件
微型传感器:在压力传感器、温度传感器中充当流体通道或保护套管。
连接器与探针:用于精密电子测试设备的导电毛细管(如晶圆探针卡)。
新能源与电池技术
燃料电池:输送氢气/氧气的气体扩散层毛细管,要求耐氢脆和高密封性。
锂电池注液:电解液精密填充管道,避免金属离子污染。
光电与激光设备
光纤保护套管:包裹光纤接头,防止机械损伤和氧化。
激光冷却系统:循环冷却液的微型通道,需抗高温和化学腐蚀。