产品名称：丹麦SENS4真空传感器VPM-5
产品型号：VPM-5
产品介绍
VPM-5传感器提供良好性能，并通过将可用的电导率真空测量仪的可用测量范围扩展到1-3年来建立了新标准技术，再加上新型的准确数字信号处理架构和创新测量算法。
丹麦SENS4真空传感器VPM-5性能特点
l超宽的测量范围为9年
l通过S4-Connect USB程序员简化配置
l0-10 VDC可编程电压输出
l数字RS-232或RS485接口
l稳定Zero漂移补偿
l可选的固态设定点继电器用于过程控制
技术参数
产地：丹麦
磁滞1×10-3至10 MBAR（ISO19685：2017）：1％
滞后10至1333 MBAR（ISO19685：2017）：0.1％
模拟输出分辨率：16位（150 µV）
模拟输出更新率：124 Hz
响应时间（ISO 19685：2017）：<20 ms
温度补偿：+10至+50°C
固态继电器设定点范围：5×10-6至1333 MBAR（3.75×10-6至1000 Torr）
固态继电器接触评级：50 V，100 MARMS / MADC
环境条件:
操作环境温度：-20至+50°C
介质温度：-20至+50°C
存储环境温度：-40至+120°C
烘烤温度（非操作）：+120°C
安装位置：任意
湿度，IEC 68-2-38：98％，无调
电源:
电源电压：12-30 VDC
功耗：240 MW（max）
反极性保护：是
电压保护：是
内部保险丝：100 mA（可回收）
产品尺寸
产品应用
质谱仪
扫描电子显微镜
炉热处理
玻璃，光学，工具等的PVD涂层
制冷服务和制造
半导体处理