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真空炉用于真空条件下集成电路、电力电子器件生产线对所生产产品进行烧结、合金、退火、焊接等工艺处理。具有控温精度高,降温速度快等特点。
真空炉技术指标:
石英管真空室:1—3室
真空度:1Pa,加扩散泵为5x10-3Pa
工作温度: <1300℃
控温精度: ±1℃
等温区长度:根据工艺要求
口径:Φ80mm~Φ280mm
控制方式:程控、微控