ITO，全称为氧化铟锡（Indium Tin Oxide），是一种广泛应用于光电领域的透明导电材料。由于其优异的电导率和透明度，ITO靶材被广泛用于液晶显示器、触摸屏、太阳能电池等各种电子器件的制造中。其主要成分是铟氧化物（In2O3）和锡氧化物（SnO2），具有高度的折射率和透明性，适用于要求透明导电性能的应用。

ITO靶材的制备通常采用物相沉积（PVD）或化学气相沉积（CVD）等方法。PVD法通过溅射技术将铟和锡等材料沉积在基材上，形成ITO薄膜。CVD法则是通过气相反应在基材表面生成ITO薄膜。这两种方法都能够生产高质量、均匀的ITO薄膜，但PVD法更为常见。

回收的钯需要进行妥善的保存，以避免氧化或污染。以下是几种常见的回收钯的保存方式：

1. 密封保存

将回收的钯放入密封容器中，排除空气，以避免氧化。容器应选择硬纸盒或纸板制成的可密封的容器，同时容器内应放置吸湿剂以保持干燥。

2. 防潮保存

钯是一种金属粉末，容易吸湿并与空气中的氧气发生反应。因此，回收的钯应存放在干燥的环境中，并保持容器密封，以避免受潮和氧化。

3. 分类保存

不同类型的钯回收料应分别存放，以避免不同类型料之间的相互污染。同时，不同类型的料也应进行标识和记录，以便于管理和追踪。

4. 定期检查

定期检查回收钯的保存情况，如发现有氧化或污染等问题，应及时采取措施进行处理。同时，也应对保存容器进行检查，以确保其密封性和完好性。

随着科技的不断发展和人们环保意识的提高，回收利用贵金属已成为一种重要的环保和经济效益手段。铟作为一种重要的稀有金属，在电子、光电、通讯等领域有着广泛的应用。