电子厂净化车间是用于生产和组装电子产品的重要环节之一。在这个车间中,采用了一系列的净化技术和设备,以确保生产过程中的空气和环境都达到特定的洁净度标准。这些净化车间在电子行业中起到了至关重要的作用,为电子产品的质量和可靠性提供了有力保障。
电子工厂净化厂房特点
>电子产品生产发展迅猛
IC特征尺寸0.05u m,12" ~16" ,64G
TFT第六代产品
对化学污染物的严格要求
大面积、大体量、组合式、多层洁净厂房
投资大、能量消耗大
微粒控制十分严格、要求控制0.02μm甚至更小粒径ISO1级或更严格。
高纯物质,包括高纯水、高纯气体高纯化学品的供应、输送。
对微振控制十分严格、需制定切实可行的规定
对防静电、电磁兼容等
大体量、多层单向流洁净室,二层/三层布置数万㎡
净化车间工程净化系统不进行清洗,均会影响空气洁净等级。普通空调系统不是一次安装完,多次安装必然有一些污染物留在风管之中,如果不清理干净,就会直接影响空气的清洁度,所以在安装过程中要边施工边清洗,并在验证之前进行24小时空吹。