所谓半导体电子洁净车间，指的是洁净度在10万级标准以上的车间，主要是按照按照每一立方米空气中含有的0.5微米尘粒数计算。在绝大多数情况下，无尘车间运行中风速越低，过滤器的使用效果越好。

对于以惯性机理为主的大颗粒粉尘，根据传统理论，风速降低后，粉尘与纤维碰撞的几率会减少，过滤效率会随之降低。但在实践中这种影响并不明显，因为风速小了，纤维对粉尘的反弹力也小了，粉尘更容易被粘住。

风速高，阻力就大。如果过滤器的使用寿命以终阻力为依据，风速高，过滤器的使用寿命就短。一般用户很难实际观察到风速对过滤效率的影响，但观察风速对阻力的影响要容易得多。

一般生产车间一般以自身的加工工艺规定为标准，可是无尘室管理就显著繁杂很多。依据自然环境清洁水平，按时拆换初、中效过滤器空气过滤网，中效过滤器拆换時间隔一般为3-6个月，新风系统進口的中效过滤器拆换清理间隔时间为30天上下。按时(3~6个月)检验各净化室的工作压力，一般洁净区正压力应超过10pa，不然务必查验初效、中效过滤器是不是阻塞，拆换、查验送排烟风机是不是运行正常。

经测试分析，无尘室的微污染中80%是工作人员带来的。当工作人员进出无尘室时尘埃有显著增加，洁净度立刻劣化。因此在工作人员进入无尘室前要做好清洁擦拭等防尘动作，且企业也要对工作人员进行培训，并制定相应的章程和制度等。