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光栅尺
材料
B270i、K9、SUS304等
面形
平整度<2um
平行度<2um
光刻图案精度
±1um
外形加工精度
±0.05mm
同心度
≤0.05mm
加工长度
≤300mm
光栅尺,也称为光栅尺位移传感器(光栅尺传感器),是利用光栅的光学原理工作的测量反馈装置。应用于数控机床的闭环伺服系统中,可用作直线位移或者角位移的检测。其测量输出的信号为数字脉冲,具有检测范围大,检测精度高,响应速度快的特点。按照制造方法和光学原理的不同,分为透射光栅和反射光栅。