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半导体工业加工废气处理工艺设备

喷淋塔：

喷淋塔可分为酸液喷淋塔、碱液喷淋塔、循环水喷淋塔，因在进行废气处理的过程中会涉及到酸碱等不同的污染物质，设备会根据废气的性质、采用的处理工艺将设备的材料划分为东莞玻璃钢喷淋塔、东莞pp喷淋塔、东莞不锈钢喷淋塔。

喷淋塔对各种腐蚀性气体净化处理效果明显，能有效去除氯化氢气体(HCl)、氟化氢气体(HF)、氨气(NH3)、硫酸雾(H2SO4)、铬酸雾(CrO3)、氰氢酸气体(HCN)、碱蒸气(NaOH)、福尔马林(HCHO)等水溶性气体。东莞喷淋塔废气净化效率高、操作管理简单、使用寿命长，净化处理后的酸碱废气排放达到国家排放标准。

催化燃烧装置：

RCO催化燃烧设备的运作原理是将有机废气通过过滤器过滤后，进入设备的活性炭吸附模块，对废气进行吸附、浓缩，再借助催化剂燃烧的方式对吸附、浓缩后的废气进行净化处理，燃烧的过程为无焰燃烧，燃烧后的废气会转化为二氧化碳和水。

在催化氧化炉内被加热到250～300℃的有机废气在贵金属催化剂的作用下发生无焰燃烧，有机废气被氧化分解成二氧化碳和水，达到废气处理的目的，废气处理后的洁净气体经烟囱达标排放。燃烧后的热空气通过换热器进行降温，降温后的气体部分排放，部分用于活性炭脱附再生以达到废热利用和节能的目的。

半导体工业废气是具有毒性的，不同的工业采用的工艺原材料不同，因此采用的废气处理设备以及工艺都是不一样的，具体的处理方案可咨询我们。

半导体工业加工废气处理工艺设备