CEMS稀释采样探头音速小孔玻璃小孔：
稀释系统采用特的现场样品预处理的气体采集方式。在采样探头顶部，通过一个音速小孔进行采样，并用干燥的仪表空气在探头内部进行稀释。样品气进入分析仪之前不需要除湿处理，因为样品气经过稀释后（稀释比通常选择在25：1至250：1之间），有效地降低了样品的露点温度，使之安装地的环境低温度，从而避免了样品气在环境温度下产生的结露现象；另一方面，样品气虽然经过稀释，但仍为带湿气体，测量过程是典型的湿法测量。
为恒定的稀释比，热电探头设计采用特的音速小孔设计：
当系统能够满足设定的小真空度要求时，音速小孔两端的压差将大于0.5倍，此时通过音速小孔的气体流量将是恒定的，温度，压力的变化不会影响稀释比。这就使得整个探头的流量控制是靠气动来完成的，因而无需任何电源和电路，具有体积小、安装简单、维护方便的特点。
对临界小孔（音速小孔）的解释：理论上小孔压缩长度比其直径小，临界小孔的下游压力与上游压力之比小于或等于0.53时会产生临界流速，通过小孔的体积流量与上下游压力无关：它只由气体速度决定，接近声速。临界小孔由硼硅酸盐耐热玻璃制成，高工作温度可达650度。