aerotech PRO190LM 机械轴承,直线电机载物台
PRO190LM是我们第二代PRO-LM载物台系列的一部分,具有许多改进和附加功能。当需要更高的刚度、负载能力和改进的几何性能时,PRO190LM 是 PRO165LM 的可靠替代品。PRO190LM基于其他PRO-LM系列载物台的基本精密设计,是许多高性能应用的理想选择。
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设计特点
中型、高刚度设计
坚固的机械结构
高性能,经济的封装
直驱直线电机,实现超精密运动
10 种型号,行程范围从 100 mm 到 1000 mm
提供真空和洁净室版本
与 ThermoComp 一®起提供,可在不断变化的环境中实现高性能
坚固的机械结构
PRO190LM 具有长寿命的循环直线导轨轴承系统和低摩擦密封解决方案,是激光加工等工业应用的有吸引力的解决方案。PRO190LM 设计的基本外部结构可防止碎屑进入载物台,而侧密封件可防止灰尘和颗粒进入载物台。弯曲的硬盖设计提供了自然的形状,可防止过多的碎屑聚集在舞台上。
精密运动性能
PRO190LM 系列载物台采用高精度、非接触式线性编码器进行优化,通过载物台密封系统保护其免受碎屑的影响。精密再循环直线轴承以及加工和装配工艺可实现出色的几何性能规格。
增量式和式编码器可作为标准选件提供,可实现低至 5 nm 的小增量运动和亚微米级重复性。可选的 HALAR 工厂校准可将定位精度提高到 ±1 μm。
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使用热塑性公司®实现定位
温度变化和热效应是精密机器中的误差源。所有PRO系列载物台均配备Aerotech的ThermoComp®功能,这是一个嵌入式温度补偿单元,可确保在可变温度环境中进行定位。使用此功能可保护您的过程免受实际条件的影响,即使在极端工业环境中也是如此。
直驱直线电机
Aerotech的高功率U型沟道直线电机驱动PRO190LM。无铁芯推力线圈提供高力,零齿槽,实现超平稳的速度和位置控制。这种无铁芯设计非常适合需要出色轮廓精度和平滑速度剖面的应用。与所有 Aerotech 直线电机载物台一样,直线电机具有零背隙、无上链、零摩擦和出色的动态响应能力。
设计和集成灵活性
PRO190LM 具有许多标准功能和选项,使设计非常灵活,并可针对特定应用轻松定制。PRO190LM 有 10 种不同的型号,行程范围为 100 mm 至 1000 mm,速度高达 2 m/s。可配置的电缆管理解决方案可作为标准选项用于单轴和多轴系统。
底座安装孔可从载物台外部进入,便于安装。所有行程中均存在英制和公制光学工作台的标准安装孔。桌面提供英制和公制安装模式,并可订购刷子附件,以清除舞台上硬盖上可能收集的任何碎屑。还提供带有孔型的桌面,允许直接连接Aerotech的ADRS,ACS-LP,ADRT,ACS和AGR旋转级。
PRO190LM 系列还提供洁净室制备和真空版本。
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