压阻式传感器是根据半导体材料的压阻效应在半导体材料的基片上经扩散电阻而制成的器件。其基片可直接作为测量传感元件,扩散电阻在基片内接成电桥形式。当基片受到外力作用而产生形变时,各电阻值将发生变化,电桥就会产生相应的不平衡输出。 用作压阻式传感器的基片(或称膜片)材料主要为硅片和锗片,硅片为敏感 材料而制成的硅压阻传感器越来越受到人们的重视,尤其是以测量压力和速度的固态压阻式传感器应用为普遍。
传感器的端部是高弹性钢质薄膜,头部充满低黏度硅油,起传递压力和隔热作用。敏感元件硅杯浸在硅油中,被测压力通过钢膜片和硅油传递给硅杯,硅杯的集成电阻通过金属引线与绝缘端子相连,在印制电路板上有各种补偿电阻。
1、直接用作各种压力的测定:气压、水压、液压(包括水压),生活中人们各种血压测定等;
2、汽车、某些摩托车以及几乎所有内燃机里都有压力传感器的使用;
3、液位计:各种液位测定的现场表计大多也是压力传感器;
4、大多数电子称量称、汽车衡的称重信号来源也是压力传感器。
5、航空、航天中加速度测量也使用压力传感器。
交叉灵敏度既与传感器应变片自身的压阻系数、弹性模量、温度系数有关,又与电桥的供电电压有关,因此应变和温度同时作用于传感器时,传感器的输出不是应变和温度单独作用时产生的输出量的简单迭加,还存在着热力学和力学量的相互作用,这个作用反映为交叉灵敏度,其大小反映了这种相互作用的程度。