十万级净化车间主要采用的回风方式包括：单侧墙下部布置回风口，当采用走廊回风时，在走廊内均匀布置回风口或在走廊端部位置设置回风口，回风口的风速不得超过规定的速度。十万级净化车间主要采用的送风方式为局部孔板顶棚送风、带扩散板空气过滤顶棚送风和上侧墙送风等三种送风方式。
净化车间的顶棚，墙面和地板的材料必须是不产尘、耐腐蚀、耐高温、不易破裂、不易产生静电，另外根据房间不同的工作条件要求不同的，还要根据实际情况进行选材。
想要保障净化车间的洁净度还要使用一些辅助设备：如净化车间入口的风淋室，物品传递使用的传递窗等。这些设备必须适合净化车间的净化要求，才能充分保障在使用的时候不会影响到净化车间，发挥到作用。
净化车间施工规范
1、地面处理做自流平地面处理，铺设2mm厚PVC地板。
2、根据规范要求，洁净室在设计和安装时应考虑使用中避免出现不易清洁的部位，本工程在进行净化装修时，门窗安装与建筑、净化空调、各种管线、照明灯具的结合部位缝隙要密封处理。
3、所有的配件、隔墙、吊顶的固定和吊挂件只能与主体结构相连，不能与设备和管线支架交叉混用，防止因微震引起装饰材料松动和灰尘脱落。
4、建筑装饰和门窗的缝隙应在正面密封。
5、根据无尘净化车间认证检查标准，室内装修要符合下列要求:
a.应选用气密性良好，且在温度和湿度等变化作用下变形小的材料。
b.墙壁和顶棚表面应光洁、平整、不起灰、不落尘、耐腐蚀、耐冲击、易清洗，减少凹凸面。墙、地面相接处做成半径等于50mm的圆角。壁面色彩要和谐、雅致，并便于识别污染物。
c.门窗与内墙而要平直，结构要充分考虑对空气和水汽的密封，使污染粒子不易从外部渗入，防止由于室内外温差而产生结露。室内不同洁净度房间之间的内门、内窗以及隔断等缝隙均须密封。
6、施工中应控制施工作业中的发尘量，特别是吊顶和夹墙内部等隐蔽空间，必须随时清扫。
7、在己安装过滤器的房间，不能进行有粉尘的装修作业。
8、注意保护已完成的作业面，不得因撞击、敲打、踩踏、多水作业等造成板材凹陷、暗裂和表面装修的污染。
净化车间装修注意事项
1、无尘车间装修建筑装饰工程必须与各专业工种间制定严格的施工程序，一般依次为：留洞打底，各专业安装，内门窗安装，修补洞口及周边，基层打底，饰面抹灰和罩面板工程，嵌缝处理，油漆刷浆工程和裱糊工程。
2、在无尘车间装修建筑装饰施工过程中，必须随时清扫灰尘，对隐蔽空间（如吊顶和夹墙内部等），还应做好清扫记录。
3、应保护已完成的装饰工程表面，不得因撞击、敲打、踩踏，多水作业等造成板材凹陷，暗裂和表面装饰的污染。
4、对已安装过滤器的房间，不得进行有粉尘的作业。
5、塑料板材和卷材面层铺贴前应预先按规格大小，厚薄分类，板材或卷材与地面之间应满涂粘接剂，表面赶平，不得漏涂或残存空气。
6、密封胶嵌固前，应将基槽内的杂质，油污剔除干净，并保持表面干燥。
7、无尘车间临时设置的设备入口不用时应封闭，防止尘土杂物进入。
8、施工现场应保证良好的通风和照明，对于改建工程，应查明和切断原有电源及易燃，易爆和有毒气体管线后方可施工，对工艺生产过程中使用的腐蚀性液体应有防护措施。