1、预热式工艺
CO催化燃烧的基本流程形式就是预热式，毒害气体在进入燃烧的反应堆之后，就会在其中进行热交换，并且热量也会随之增高。而这种方式是采用煤气和电加热的形式，来促使催化剂发生催化反应，从此达到燃烧温度的。
2、热平衡式工艺
正常有机废气的燃烧温度高于燃烧炉内的燃烧问题，因此在这过程中就会发生一种热能量转化的工序。为了维持热平衡，催化反应的同时，用电热器达到起燃温度。
3、催化燃烧工艺
毒害气体当中的有机物种类很多，燃烧的时候浓度极大，而且热点很低。但采用CO催化燃烧工艺的同时，可利用吸附工艺，再进行催化燃烧。正常操作即可，无需特殊的处理。
CO催化燃烧炉的工艺流程主要分为以上三个步骤，流程并不复杂，但可以达到理想中的净化效果。而且这种方法经济实惠，不会为企业造成过大的经济负担，从这个角度理解对内对外都是极好的。对外不会污染环境，对内不会影响员工的人身安全，是目前应用最广的技术方法之一。