利用高能臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需氧分子结合，进而产生臭氧。UV+O2→O一+O*（活性氧）O+O2→O3（臭氧），众所周知臭氧对有机物具有极强的氧化作用，对恶臭气体及其它性异味有立竿见影的效果。
高能UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧，臭氧对有机物具有极强的氧化作用；而异味高分子物质（如硫化氢、VOC类，苯、、二等）在高能紫外线光束照射下，分子链断裂；游离状态的污染物分子与臭氧氧化结合分解成无害小分子、化合物，如CO2、H2O等。
在光照下，如果光子的能量大于半导体禁带宽度，其价带上的电子（e-）就会被激发到导带上，同时在价带上产生空穴（h+）。当存在合适的俘获剂、表面缺陷或者其他因素时，电子和空穴的复合得到抑制，就会在催化剂表面发生氧化还原反应。价带空穴是良好的氧化剂，导带电子是良好的还原剂，在半导体光催化反应中，一般与表面吸附的H2O、O2反应生成.OH和超氧离子O2-，能够把各种有机物直接氧化成CO2和H2O等无机小分子，电子也具有强还原性，可以还原吸附在其表面的物质。激发态的导带电子和价带空穴能重新合并，并产生热能或其他形式散发掉。
UV光解废气除臭设备主要是采用高能UV紫外线，在UV光解废气除臭设备内，裂解氧化恶臭物质分子链，改变物质结构，将高分子污染物质裂解、氧化为低分子无害物质，其脱臭效率可达 99%。
UV光解废气除臭设备处理废气技术是一种工业光催化有机废气处理装置，UV光解废气除臭设备采用生物喷淋进行预处理，再进入光催化净化装置，在催化剂的作用下，常温下使有机废气转化为CO2和H20的一种环保设备。目前，UV光解废气除臭设备装置已被用户广泛使用，均取得良好的净化效果。
UV光解系统主要是靠高能紫外线光去裂解有机废气或恶臭气体分子，设备内部主体是石英材质的UV高能紫外线灯管，该灯管只是产生高能量的紫外线光，是将电能直接转化为光能，不产生高热，更不可能产生火花，灯管接线口处也做了严格规范的密封保护，因此UV光解工艺从理论上讲是不会产生着火甚至等安全事故的。而且纵观同行，也从没听说有单纯光解废气净化工艺的设备有着火类安全事故的，所以请客户放心使用。