如果UV光解设备，没有配备光催化剂，假设只通过臭氧来氧化VOCs。以为例，假设浓度为10ppm（41mg/m3），风量为10000m3/h。通常来说臭氧中只有一个活性氧[O]，如果按照如下化学计量反应：
C7H8()+18O3=7CO2+H2O+8O2
假设臭氧全部利用，不发生逃逸。那么10ppm，需要180ppm的臭氧（O3），即385mg/m3。
传统的185nm的UV光管，每瓦每分钟产生0.1mg臭氧，也就是每瓦每小时产生6mg臭氧。即1m3/h气体需要配置64W功率的UV光管（假设出生臭氧是线性的）。如果处理1000m3/h，需要64KW的光管，这样的能量消耗已经非常大了。如果采用电晕放电法臭氧发生器，文献上查到的数据是1000g臭氧耗能7500W，是1m3/h需要那么2.9W，1000m3/h只需要2.9KW。也就是说，如果仅仅利用了UV光的臭氧，那么效率是相对低下的。
假如按照如下化学计量发生反应：
C7H8()+6O3=7CO2+H2O
那么处理1000m3/h的有机废气，前者需要21.3KW（即使这样实际中也是不可能，后者需要0.97KW。
还有一个可能是，如果有机物的键（C-C，C-H键）能够被UV光打断，是否能直接能与氧气发生反应生成CO2和H2O。那么，如果这种方式成立的话，就不需要前面所讲的光催化剂了，可见被UV打碎的有机分子，是不容易和氧气反应生成CO2和H2O。即使这个过程成立，那么打碎有机分子也是需要能量的，由于计算难度太，这里无法给出定量的数据了。五、如何弥补紫外线消毒除VOCs和消除恶臭的缺点？
目前，采用微波无极紫外灯技术可以大大提高紫外线灯的消毒杀菌以及光解VOCs效率。微波无极紫外灯同时具有微波、紫外线、臭氧三大功能。比如成都巨源光电生产的微波无极紫外光泵，微波无极紫外灯和微波无极紫外设备都很好的解决了这个问题，而且比传统的紫外线灯发光效率高数十倍，处理完全。
微波：可使细胞中极性物质随高频微波场的震动受到干扰和阻碍，引起微生物细胞的蛋白质、核酸等生物大分子受热凝固或变性失活从而导致其突变或死亡。
紫外线：
253.7nm紫外线通过照射微生物的DNA，使其发生光化学反应从而变性失活，是目前公认的佳消毒光谱线。
臭氧（O3）：
微波激发的185nm射线于空气中的氧气发生反应生成的臭氧具有强氧化作用，对从烃到羧酸种类众多的有机物的分解都有效，可有效的杀灭细菌；臭氧的弥散性可以弥补紫外线只沿直线传播、消毒有死角的缺点。