UV+O2---O_+O（活性氧）+O2---O3（臭氧），众所周知臭氧对有机物具有极强的氧化作用，对工业废气及其它性异味有立竿见影的效果。
另外通过添加特制催化剂：根据不同的废气成分配置27种以上相对应的惰性催化剂，催化剂采用蜂窝状金属网孔作为载体，全方位与光源接触，惰性催化剂在338纳米光源以下发生催化反应，放大10-30倍光源效果，使其与废气进行充分反应，缩短废气与光源接触时间，从而提高废气净化效率。
1.高能紫外线灯管发射的高能紫外线产生的光子所具有的能量必须大于恶臭气体分子的分子键结合能，才能将恶臭气体分子裂解。
2.混合气体中需要有足够的含氧量，才能产生足够的游离态氧和臭氧与裂解后的恶臭气体分子基团结合产生无污染的低分子化合物。因此不适应处理浓度过高的废气，如处理高浓度废气时，应相应的补充一部分新鲜风以增加含氧量。
3.需控制好光解的进气条件，包括温度、湿度、粉尘及气体黏性物质的含量、pH等，方可保证较高的高净化效率。（废气温度宜为常温，不高于60℃；废气的相对湿度应低于95%；pH适宜的范围为7~9；预处理设备应尽量降低粉尘和其他黏性或油脂性颗粒物，一般预处理后其含量不高于10mg/m3。）
4.裂解反应时间极短（＜0.01s），氧化反应时间需约2~3s，即废气从光解设备出来以后需2~3的氧化反应时间，即一般废气从UV光解设备出来至检测口须15米长或以上的管道