光氧催化+低温等离子设备分解：光氧催化模块运用253.7纳米波段光切割、断链、燃烧、裂解废气分子链，改变分子结构，为第一重处理；取185纳米波段光对废气分子进行催化氧化，使破坏后的分子中子或原子以O3进行结合，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在催化氧化过程中，转变成低分子化合物CO2、H2O等，为第二重处理；再根据不同的废气成分配置27种以上相对应的惰性催化剂，催化剂采用蜂窝状金属网孔作为载体，全方位与光源接触，惰性催化剂在338纳米光源以下发生催化反应，放大10-30倍光源效果，使其与废气进行充分反应，缩短废气与光源接触时间，从而提高废气净化效率，催化剂还具有类似于植物光合作用，对废气进行净化效果，为第三重处理，通过三重处理后的废气其除臭高可达99%以上，净化、脱臭效果大大超过GB16297-1996《大气污染物综合排放标准》二级排放标准，GB14554-93《恶臭污染物排放标准》二级排放标准。
光氧催化废气处理设备主要利用特制的高能高臭氧UV紫外线光束照射废气，裂解工业废气如：氨、、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、乙酸丁酯、乙酸乙酯、二甲二硫、二硫化碳和苯、硫化物H2S,VOC类、苯、甲苯、二甲苯的分子链结构，使有机或无机高
分子恶臭化合物的分子链在高能紫外线的光束的照射下降解转变成低分子化合物，如CO2和H2O等。利用高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子及水分子产生游离氧（活性氧）和OH自由基，因游离氧和所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。
UV+O2---O_+O（活性氧）+O2---O3（臭氧），众所周知臭氧对有机物具有极强的氧化作用，对工业废气及其它性异味有立竿见影的效果。
另外通过添加特制催化剂：根据不同的废气成分配置27种以上相对应的惰性催化剂，催化剂采用蜂窝状金属网孔作为载体，全方位与光源接触，惰性催化剂在338纳米光源以下发生催化反应，放大10-30倍光源效果，使其与废气进行充分反应，缩短废气与光源接触时间，从而提高废气净化效率。