去离子水（deionized water）是指除去了呈离子形式杂质后的纯水。国际标准化组织ISO/TC 147规定的去离子定义为：去离子水完全或不完全地去除离子物质，主要指采用离子交换树脂处理方法。现在的工艺主要采用RO反渗透的方法制取。应用离子交换树脂去除水中的阴离子和阳离子，但水中仍然存在可溶性的有机物，可以污染离子交换柱从而降低其功效，去离子水存放后也容易引起细菌的繁殖。
在半导体行业中，去离子水被称为超纯水或是18兆欧水。
去离子水制取工艺及其特点：
1、离子交换树脂制取去离子水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：
原水多介质过滤器活性炭过滤器精密过滤器阳床阴床混床后置保安过滤器用水点。
（特点：污染比较大，自动化程度低，初期投入低）
2、反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合制取去离子水的方式，其基本工艺流程为：
原水多介质过滤器活性炭过滤器精密过滤器反渗透设备混床超纯水箱超纯水泵后置保安过滤器用水点。
（特点：污染小，自动化程度高，初期投入中等，价格适中）
3、反渗透设备与电去离子（EDI）设备进行搭配制取去离子水的的方式，这是一种制取超纯水的最新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：
原水多介质过滤器活性炭过滤器精密过滤器反渗透设备电去离子（EDI）超纯水箱超纯水泵后置保安过滤器用水点。
（特点：环保，自动化程度高，初期投入大，价格相对比较贵。
用途：
1、实验室、化验室用水，一般实验室的常规试验、配置常备溶液、清洗玻璃器皿等；
2、电子工业生产，如显像管玻壳、显像管、液晶显示器、线路板、计算机硬盘、集成电路芯片、单晶硅半导体等；
3、电力锅炉，锅炉所需软化水、除盐；
4、汽车、家用电器、建材表面涂装、电镀、镀膜玻璃清洗等；
5、石油化工行业，化工反应冷却水、化学药剂、生产配液用水等；
6、工业纺织印染、钢铁清洗用水等；
7、食品、饮料、酒类、化妆品生产用水；
8、海水、苦咸水等净化
处理步骤：
从自来水到去离子水一般要经过几步处理 ：
1、先通过石英砂过滤颗粒较粗的杂质
2、然后高压通过反渗透膜
3、最后一般还要经过一步紫外杀菌以去除水中的微生物
4、假如此时电阻率还没有达到要求的话，可以再进行一次离子交换过程最高电阻率可达到18兆。
相对而言，蒸馏水只是先气化再冷凝，其纯度如电阻率一般不如纯度高的去离子水，半导体工业中用的大多数是高纯度的去离子水
新型设备：
目前被广泛应用的EDI系统就是现在最为热门的新型电除盐系统，它取代传统离子混床装置成为纯水行业的新星。EDI系统不但弥补了传统工艺的缺陷简化工艺步骤，而且还提高生产效率；不论是从设备本身的性能，还是经济投资方面都比传统的去离子水设备更具优势。