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原生多晶硅具有灰色金属光泽。密度2.32-2.34。熔点1410。沸点2355。溶于氢氟酸和硝酸的混酸中,不溶于水、硝酸和盐酸。硬度介于锗和石英之间,室温下质脆,切割时易碎裂。加热至800以上即有延性,1300时显出明显变形。