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碎硅片可分为高阻片和重惨片;其中高碎硅片(Broken wafer)是操作人员在单晶硅片的切片、脱胶、清洗、物流的系列生产过程中因破损而产生的碎片。阻片按照生产工艺可分为:原片高阻、抛光片高阻和工艺片高阻。碎硅片属于硅原料五大类(碎硅片、单晶硅片、头尾料、埚底料和特殊物料)的其中之一。