空气压缩机空气压缩机为系统提供压力、流量及其它指标符合要求的空气源。
一般采用的品牌：阿特拉斯、康普艾等品牌，对空压机的运行稳定性及压缩空气含油量指标要求严格。必须严格按照空压机说明书要求时间保养；以免造成意外停机造成不需要的损失。
空气净化组件空气净化组件由气水分离器、管道过滤器、冷冻干燥机、精过滤器、超精过滤器、活性炭过滤器、自动排污阀等组成，其作用是除去压缩空气中的尘埃、水和油雾，并通过自动排污阀排出，为氧氮分离装置提供洁净的原料空气。气水分离器：利用旋风板结构，在压缩空气进入后的离心力分离出大量的水、油。管道过滤器：压缩空气进入管道过滤器，将压缩空气中的>5µm的固体微粒及大部分的液态水和油雾滤除，保障冷冻干燥机和后级过滤器的正常使用。过滤精度>5µm，使用温度为空分设备可以分为5个基本系统：杂质的净化系统：主要是通过空气过滤器和分子筛吸收器等装置，净化空气中混有的机械杂质、水分、二氧化碳、乙炔等。 空气冷却和液化系统：主要由空气压缩机、热交换器、膨胀机和空气节流阀等组成，起到使空气深度冷冻的作用。 空气精馏系统：主要部件为精馏塔（上塔、下塔）、冷凝蒸发器、过冷器、液空和液氮节流阀。起到将空气中各种组分分离的作用 加温吹除系统：用加温吹除的方法使净化系统再生。 仪表控制系统：通过各种仪表对整个工艺进行控制。氧气在工业生产和日常生活中有广泛的用途因此氧气一般都通过空气分离制取。
深度冷冻技术是当前使用最为广泛的空气分离技术，深冷空分的基本工艺流程是：空气从空气吸入塔进入工艺系统，经过加压后，进入空气预冷塔，用冷却水进行冷却，经冷却后的空气送入纯化系统（MS系统），空气经过纯化系统吸附净化后，除去空气中的水分、CO2和乙炔等部分碳氢化合物。