目前空气压缩机进气多采用粗效过滤器或中效过滤器。
空气压缩机:按工作原理，空气压缩机可分为容积式和速度式两大类。目前空气压缩机多采用往复活塞式空气压缩机、离心式空气压缩机和螺杆式空气压缩机。
空气冷却器:是用来降低进入空气干燥净化器和空分塔前压缩空气的温度，避免进塔温度大幅度波动,并可析出压缩空气中的大部分水分。 空分设备的发展历程,是工艺流程和主要设备结构不断革新优化的过程, 空分塔内:主要包括有主换热器、液化器、精馏塔、冷凝蒸发器等。 空气过滤器:为减少空气压缩机内部机械运动表面的磨损， 保证空气质量， 空气在进入空气压缩机之前，必须先经过空气过滤器以清除其中所含的灰尘和其他杂质。通常采用氮水冷却器（由水冷却塔和空气冷却塔组成：水冷塔是用空分塔内出来的废气冷却循环水，空冷塔是用水冷塔出来的循环水冷却空气）、氟里昂空冷器。
空气干燥净化器:压缩空气经空气冷却器后仍含有一定的水分、二氧化碳、乙炔和其他碳氢化合物。被冷冻的水分和二氧化碳沉积在空分塔内会堵塞通道、管道和阀门，乙炔积聚在液氧内有爆炸的危险，灰尘会磨损运转机械。为了保证空分装置的长期安全运行，必须设置专门的净化设备，清除这些杂质。空气净化的最常用方法是吸附法和冻结法。目前国内在中小型制氮装置中广泛采用分子筛吸附法。
制氧设备包括空气压缩机、空气净化组件、空气储罐组件、氧氮分离组件、氧气储罐组件、氧气净化检测系统、电气控制系统、备用气源系统（用户自备）等七大部分组成。吸附压力高于大气压，一般在30～100Kpa，采用真空泵解吸。VPSA法是目前采用最多的一种制氧工艺，制氧电耗一般在0.32～0.5KWh/m3,装置规模300～10000 m3/h。（锂筛，CECA G5000 ,日本东漕）均压结束后，大气进气充压到接近大气压，鼓风机开始进气时空塔流速介于两床和三