北京合能阳光新能源技术有限公司

OWT-200平整度测试仪

价格:面议 2024-08-28 11:00:01 4016次浏览

产品简介

OWT-200采用PHYS独有技术,对透明、半透明、不透明几乎所有的材料的厚度,TTV,LTV,弯曲度,平整

度进行无接触测量,其对透明、半透明材料的高精度测量的性价比在同类测试仪器中是无可比拟的。

特征

无接触无损伤测量

高度及重复性

测量材料范围广,透明、半透明、不透明几乎所有材料的

厚度/弯曲度/平整度/LTV/TTV

抗干扰强,稳定性好

强大的工控机控制和大屏幕显示

一体化设计操作更方便,系统稳定

为晶圆硅片关键生产工艺提供的无接触测量

超高测试速度

技术指标

测试尺寸:50mm-200mm.

厚度测试范围:1000 um,可扩展到1700 um

厚度测试精度:+/-0.1um

厚度重复性精度:0.050um

TTV 测试精度: +/-0.1um

TTV重复性精度: 0.01um

Warp/Bow精度: 0.2um

Warp/Bow重复度: 0.5um

测量时间: 材料:透明、半透明、不透明几乎所有的材料

尺寸: 560X650X400mm

电源:220V 50HZ 300W

主要客户:欧洲、美洲、台湾等地区蓝宝石生产企业

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